全封閉、中空部件的制備一般采用連接工藝獲得，目前常用的陶瓷連接方法主要有釬焊、擴散焊等，但這些方法均存在工藝復雜、焊接料性能同碳化硅基體差別大等缺點，難以滿足光刻機等集成電路制造裝備對復雜結(jié)構(gòu)部件的使用要求。

根據(jù)反應燒結(jié)碳化硅的工藝特點，將待粘接零部件進行預處理，并通過粘接料對制品進行粘接，隨后再進行反應燒結(jié)，使制品的連接與反應燒結(jié)同步完成。通過調(diào)節(jié)粘接料的組分、控制連接工藝，可實現(xiàn)復雜結(jié)構(gòu)部件的致密、高強度、無縫隙粘接。